ウエハ搬送SR624HC

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概要

ウエハ搬送SR624HC

製品仕様

クリーン度 クラス100
(パーティクルサイズ0.3μm)
<備考:掃気100L/min>
アーム長 第1アーム 310mm
第2アーム 310mm
動作範囲 第1軸 ±205°
第2軸 ±160°
第3軸(Z軸) 100mm
第4軸(Z軸回転) ±230°
最大速度 第1軸 274°/s
第2軸 240°/s
第3軸(Z軸) 200mm/s
第4軸(Z軸回転) 240°/s
負荷 最大可搬質量 35kg
位置繰返し精度 X,Y(平面) ±0.05mm
Z軸(上下) ±0.05mm
4軸(Z軸回転) ±0.05°
駆動方式 全軸ACサーボモータ
ロボット本体 質量 220Kg
塗装色 ミスティホワイト
ハンド用入出力信号 入力5点、出力2点
位置検出方式 アブソリュート方式
付属ケーブル 標準5m(最大30m)
コントローラ

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