ウエハ搬送SR-404HC
概要

アーム長400mmのロボットです。
製品仕様
クリーン度 | クラス100 (パーティクルサイズ0.3 μm) <備考:掃気100 L/min> |
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アーム長 | 第1アーム | 200 mm |
第2アーム | 200 mm | |
動作範囲 | 第1軸 | ±230 deg |
第2軸 | ±160 deg | |
第3軸(Z軸) | 100 mm | |
第4軸(Z軸回転) | ±230 deg | |
最大速度 | 第1軸 | 274 deg/s |
第2軸 | 240 deg/s | |
第3軸(Z軸) | 200 mm/s | |
第4軸(Z軸回転) | 240 deg/s | |
負荷 | 最大可搬質量 | 20 kg(ハンド含む) |
位置繰返し精度 | X,Y(平面) | ±0.05 mm |
Z軸(上下) | ±0.05 mm | |
4軸(Z軸回転) | ±0.1 deg | |
駆動方式 | 全軸ACサーボモータ | |
ロボット本体 | 質量 | 200 kg |
塗装色 | ミスティホワイト | |
ハンド用入出力信号 | 入力5点、出力2点 | |
位置検出方式 | アブソリュート方式 | |
付属ケーブル | 標準5 m(最大30 m) | |
コントローラ |
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