高精度ダイシングマシン USMシリーズ

特長

加工性能に定評、実績のあるスライサーとダイシングマシンの操作性を融合しました。
優れた加工性能がより使いやすく、より身近になると共に、各種難削材に対し、余裕ある加工環境を提供します。

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超精密空気静圧軸受スピンドル

超精密空気静圧軸受スピンドル

弊社開発・製作の高剛性空気静圧軸受スピンドルを搭載。同期電動機を採用*1)し、高回転精度を図ると共に、使用ブレードに対して最適なスピンドルを提供いたします。
*1)一部誘導電動機も採用しています。

マルチブレード加工

マルチブレード加工

高剛性の空気静圧軸受スピンドルの採用により、大負荷のマルチブレード加工が可能です。
シングルブレード加工と比較して、加工能率の増大により、圧倒的な生産性向上が図れます。

16枚マルチブレードによる加工例(光通信用多層膜フィルタ)
16枚マルチブレードによる加工例(光通信用多層膜フィルタ)

4枚マルチブレード組込み状態

4枚マルチブレード組込み状態

ブレード径・ワーク表面検知機能

光電式ブレード径検出装置
光電式ブレード径検出装置

ギャップエリミネートおよび切込み深さの自動化に不可欠の、高精度ブレード径検出およびワーク表面検出装置を提供します。

導電式チャック表面検出装置
導電式チャック表面検出装置
オートフォーカス式ワーク表面検出装置 (特許出願中)
オートフォーカス式ワーク表面検出装置 (特許出願中)

フレーム搬送装置

搬送ロボットを採用し、フルオートマチック化に対応
搬送ロボットを採用し、フルオートマチック化に対応

洗浄装置

平均粒子径10~50μmのミストを標準搭載し、洗浄シーケンス(アーム旋回スピード等)を任意で設定可能
平均粒子径10~50μmのミストを標準搭載し、洗浄シーケンス(アーム旋回スピード等)を任意で設定可能

フライカット加工

ダイヤモンドバイトによるフライカット加工により、Cu等の軟質金属の薄膜加工が可能
ダイヤモンドバイトによるフライカット加工により、Cu等の軟質金属の薄膜加工が可能

各種フランジ

マルチフランジ、カップ砥石等 各種加工に対応
マルチフランジ、カップ砥石等 各種加工に対応

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