高精度スライサー USMシリーズ
加工例
光通信コネクタ用V溝加工

被削材:石英,パイレックス
V溝:70度 48溝/コネクタ1個
基板1枚当たりのコネクタ数:10個×4列=40個

超硬合金のV溝加工

被削材:微粒子超硬合金 VF30
V溝:角度 60度 ピッチ 0.256 mm
ツルーイング方法:放電式

超硬合金の細溝加工

被削材:超硬合金(90HRA)
溝:幅 0.06 mm 深さ 0.5 mm ピッチ 0.12mm
加工パス数:1パス

セラミックスの深溝加工

被削材:アルミナセラミックス
溝:幅 0.7 mm 深さ 15 mm
加工パス数:1パス

セラミックスの細溝加工

被削材:アルミナセラミックス
溝:幅 0.1 mm 深さ 1 mm ピッチ 0.3mm
加工パス数:1パス

圧電素子基板の溝加工

被削材:PZT(チタン酸ジルコン酸鉛)
溝:幅 0.3 mm 深さ 3.5 mm, 5 mm
ツルーイング方法:メカ式

LED用ヒートシンクダイシング

被削材:アルミアルマイト
(幅57.5 長さ79 厚さ1.025 mm)
ダイシングピッチ:3.205 × 5.825 mm
ブレード:φ2 インチ × t 0.3 mm

樹脂材の細溝加工

被削材:べスペル®(全芳香族ポリイミド樹脂)
溝:幅 0.05 mm 深さ0.5 mm ピッチ 0.1mm
加工パス数:1パス
(べスペル®はデュポン社の登録商標です)

光導波路用銅箔の傾斜溝加工(フライカット加工)

被削材:銅箔 厚さ 0.1mm
ダイヤモンドバイト:先端角度44度
ドライ切削
