微細転写装置（インプリント装置） STシリーズ
ST50-UV
特徴
- UV転写に特化。
- φ４インチ基板全面への一括転写が可能。オプションでφ６インチに対応可。
- 樹脂モールド，石英モールドによる転写に対応。
- 樹脂モールド＋高追従ヘッドによる高い追従性。
仕様
| 項目 | 内容 |
|---|---|
| 転写対象 | 基板 |
| 対象基板サイズ | ～4inch（オプション6inch） |
| 転写仕様 | UV転写 |
| プレス力 | 最大50kN |
| モールド材質 | 樹脂，石英 |
| クリーン度 | ISO Class5 (FED-STD209 Class100) |