微細転写装置(インプリント装置) STシリーズ

ST50S-LED

ST50S-LED

特徴

  • 各種基板へのインプリント
  • フォトニッククリスタル、PSS(※)(μm, nm)、マイクロレンズアレー

※PSS: Patterned Sapphire Substrate

ナノPSS

ナノPSS: Patterned Sapphire Substrate

ナノPSS: Patterned Sapphire Substrate

フォトニッククリスタル

フォトニッククリスタル
ロール・ツウ・ロールUVインプリント装置 CMT400-U(弊社 押出成形機事業部製品)
ロール・ツウ・ロールUVインプリント装置 CMT400-U(弊社 押出成形機事業部製品)

樹脂モールド搬送、基板搬送を搭載し、カセット・ツウ・カセットによる自動連続インプリントができます。
ロール・ツウ・ロールUV転写装置(CMTシリーズ)にて製作するロールタイプの樹脂モールドを用いた自動連続インプリントができます。

樹脂モールド(ロールタイプ)
樹脂モールド(ロールタイプ)
インプリントサンプル
インプリントサンプル

φ2~φ4インチ基板全面への一括転写基板の反り、微小突起に追従するインプリント方式
インプリント面へ追従し、転写面圧力分布を均一にするメカニズムを搭載し、均一高転写率を実現します。

仕様

項目 内容
転写対象 基板
対象基板サイズ ~4inch(オプション6inch)
転写仕様 UVインプリント
プレス力 最大50kN
生産数 30枚以上/時
クリーン度 ISO Class5 (FED-STD209 Class100)
主要構成 転写装置本体
自動離型装置
ロール部
搬送ユニット

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