微細転写装置(インプリント装置) STシリーズ
ST50
微細転写装置ST50は、高精度プレス位置制御・高精度プレス力制御を特徴とし、「IT・エレクトロニクス、バイオ・ライフサイエンス、環境・エネルギー」等のキーテクノロジーに必要とされるナノメートルからマイクロメートルオーダーまでの様々な微細形状要素を高精度に転写する装置です。
特徴
- ステップ&リピート(S&R)の転写に対応した高分解能XYステージ搭載可能(オプション対応)
- 真空下での転写に対応した真空チャンバを搭載可能(オプション対応)
- 型と基板とを高精度にアライメントするXYΘステージやアライメントカメラを搭載可能(オプション対応)
- 高機能マンマシンインターフェース装備
- UV転写または熱転写に対応可能
●カタログ請求・製品に関するお問い合わせはこちらからお願いします。
仕様
項目 | 数値 | |
---|---|---|
モールドサイズ※ | 最大 φ150mm(UV転写仕様時) | |
ブレス軸 | ブレス力設定範囲 | 0~50kN |
ストローク設定範囲 | 0~150mm | |
速度設定範囲 | 0.01~30mm/s | |
温度制御※ | 最大200℃(熱転写仕様時) | |
外形寸法 L×W×H | 1.9m×1.0m×2.3m | |
質量 | 2800kg | |
対応クリーン度 | ISO Class6 (FED-STD209 Class1000) | |
電源 | AC220/200V、60/50Hz | |
エアー源 | 0.6MPa、300NL/min |
※別途ご相談となります。
項目 | 内容 |
---|---|
アライメント | XYΘステージとアライメントカメラ搭載によるモールドと基板との高精度アライメント |
XYステージ | 高分解能XYステージ搭載によるS&R転写 |
真空チャンバ | 常用真空度1000Pa、ステージ内蔵可能 |
UV照射装置 | UV転写成形用 |
ローディング装置 | 素材搬入および製品搬出用ロボット |
注1)上記以外の仕様については別途ご相談となります。
注2)真空チャンバ搭載時には、クリーンエアーなどの供給が必要となります。