塗工装置 要素技術
高精度薄膜塗工技術
ダイ位置決め機構
コーティングギャップ位置決め
特徴
- サーボモータによる高精度位置決め
- ボールネジによりバックラッシュなし
- ストッパ方式のようなヒステリシスが発生しない
設定精度：1μm
繰り返し再現精度：±0.5μm
コーティングギャップ位置決め