超精密非球面・自由曲面加工機 ULC/ULGシリーズ，LGシリーズ
ULC/ULGシリーズは、レンズなどの光学部品やその金型を高精度かつ高効率に旋削・研削することを目的に開発されました。光学部品に限らず、それぞれの用途に最適な機械構造とオプション構成を準備し、高いコストパフォーマンスを達成します。
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特長
超精密加工を生み出す骨格
高い回転精度と省エネを両立する
超精密空気静圧軸受主軸
高速・高精度・高剛性・低発熱・高信頼性に加え高い回転精度を実現させた自社内製主軸となっています。
また、多孔質空気静圧軸受を搭載し、安定した加工面を実現させるとともに、空気消費量を1/6(当社従来比)に低減させ、省エネルギーに貢献いたします。
- 研削主軸：20 [nm/NRRO]
- ワーク主軸：5 [nm/NRRO]（注１）
（注１）測定はSingle Point Asynchronous Error Motion法によります
【研削主軸ラインナップ】
滑らかさを極限まで追求した
超精密V-V有限ころがり案内&油静圧案内
【超精密V-V有限ころがり案内】
厳選された超精密ニードルを配置したV-V有限ころがり案内は、摩擦を極小にし高い位置決め精度、正確な運動性能、うねりの微小化を実現しました。
高速・高精度・高剛性が要求される超精密加工機の基本性能を支える基幹技術となっています。
【油静圧案内】
油の圧力によりテーブルを浮上させる油静圧案内は、非接触案内であるため非常に滑らかな動きを実現しました。
さらに油供給ポンプのモータ回転数を精密に制御することで吐出圧の脈動をなくし、静圧油と静圧回路の最適化により油の発熱を抑え、高い安定性を実現しています。
超精密加工を実現させる制御技術
高精度・高応答性を有した
0.1 [nm]スケールフィードバック
リニアモータ駆動
コアレスリニアモータおよびコア付きリニアモータの両方を商品化し、用途に合わせた最適な駆動方式を提供しています。
特にコア付きリニアモータは高ゲイン高精度駆動により切削加工と研削加工において高い形状精度と面品位を実現しています。
・世界に先駆け0.1 [nm] スケールフィードバック制御を実現
・当社独自開発技術により外乱要因に強い安定した高精度・高応答性を有したコア付きリニアモータを実現
超精密加工を実現させる制御技術
2自由度リニアエンコーダを用いた母性原理を超える
真直度サーボ補正機能
（注2）
（注2）ULG-100H(H3)のみ
2自由度リニアエンコーダを直交2軸に採用することにより、基本軸の進行方向に加え、直交方向の位置検出も可能となりました。
その成分を高機能型処理装置により、相互軸にフィードバックすることで案内面の微小うねりをキャンセルさせる遅れのない制御を実現しました。
超精密加工を支えるソフトウェア
加工パス生成・加工最適化・測定/解析をトータルサポートする
自社開発ソフトウェア群
超精密加工を実現させる各種ソフトウェアを自社開発しています。
加工アイテムに合わせた豊富なラインナップがございます。