高精度光通信デバイス自動調芯・組立装置 UFAシリーズ
仕様
UFA-120
| 結合方式 | YAGレーザによる溶接結合 | |
|---|---|---|
| ステージ構成 | 調芯ステージ | X1,X2,Y1,Y2,Z2,C1,C2 |
| YAGステージ | W1,W2,W3,R1,R2,R3 | |
| レンズステージ | Z1,L | |
| 設定単位 | X,Y,Z 軸 | 0.05μm |
| C軸 | 0.001° | |
UFA-200
| 結合方式 | UV照射による接着結合 | |
|---|---|---|
| ステージ構成 | 調芯ステージ | X,Y,Z,C1,C2 |
| CCDカメラ移動機構 | W | |
| X,Y,Z 軸 | 0.05μm | |
| C軸 | 0.001° | |
| 調芯ピッチ | 調芯ピッチ | 5.0μm |
| 微調芯 | 0.1μm | |