成形・転写コアテクノロジー

赤外線ランプによる高速・均一加熱および高い金型位置決め精度を実現。プレス力制御、加熱・冷却温度制御および超精密金型加工技術と融合し、非球面ガラスレンズ等の高精度ガラス素子生産において磨き等の後工程を不要としました。

自社製の制御装置を搭載することにより、加熱・プレス・位置決め・冷却の各工程設定が容易で、モニタリングも可能となっており、操作者に優しい再現性の高い高品質成形を実現しています。

射出成形機用として、長年、蓄積してきたプラスチック用金型製作技術を基盤とし、ガラス成形に最適な金型材料の選定とコーティング技術を開発することにより、金型の高品質化および長寿命化を実現。また、当事業部の主力製品である非球面・自由曲面加工機 ULC/ULGシリーズによる超精密加工とその応用技術により、成形品の高精度化・微細化を実現し、お客さまから高い評価を得ています。

反り、成膜欠陥を有する基板へのインプリントに対応するために、フレキシブルな樹脂モールドを使用し、高い形状精度、少ない残膜バラツキのインプリントを実現しています。
フィルムモールドは、ロール・ツウ・ロール装置で作製することが出来ます。

基板、モールドそれぞれの異なったアライメントマークを観察することで位置誤差を測定します。基板またはモールドをXYΘステージで動かすことでアライメントを行ないます。左右2箇所のアライメントマークを観察することで、回転方向もアライメントすることが出来ます。
また、専用制御ソフトによる自動アライメントも可能です。

成形に使用する樹脂の性質により、３種類の成形方法があります。UV硬化性樹脂を使用するUVインプリント、熱硬化または可塑樹脂を使用する熱インプリント、SOG（spin-on-glass）等高圧力で硬化する樹脂を使用するコールドインプリントです。
微細転写装置は使用する樹脂や被転写材料・サイズに合わせて，最適な装置を提案することが出来ます。