転写装置コアテクノロジー

超精密光学ガラス素子加熱・成形技術

超精密光学ガラス素子加熱・成形技術

赤外線ランプによる高速・均一加熱および高い金型位置決め精度を実現。プレス力制御、加熱・冷却温度制御および超精密金型加工技術と融合し、非球面ガラスレンズ等の高精度ガラス素子生産において磨き等の後工程を不要としました。

page top

超精密光学ガラス素子成形制御技術

超精密光学ガラス素子成形制御技術

自社製の制御装置を搭載することにより、加熱・プレス・位置決め・冷却の各工程設定が容易で、モニタリングも可能となっており、操作者に優しい再現性の高い高品質成形を実現しています。

超精密光学ガラス素子成形制御技術

page top

超精密光学ガラス素子用金型製作技術

超精密光学ガラス素子用金型製作技術

射出成形機用として、長年、蓄積してきたプラスチック用金型製作技術を基盤とし、ガラス成形に最適な金型材料の選定とコーティング技術を開発することにより、金型の高品質化および長寿命化を実現。また、当事業部の主力製品である非球面・自由曲面加工機 ULC/ULGシリーズによる超精密加工とその応用技術により、成形品の高精度化・微細化を実現し、お客さまから高い評価を得ています。

超精密光学ガラス素子用金型製作技術

page top

微細転写装置 フィルムモールド

微細転写装置 フィルムモールド

反り、成膜欠陥を有する基板へのインプリントに対応するために、フレキシブルな樹脂モールドを使用し、高い形状精度、少ない残膜バラツキのインプリントを実現しています。
フィルムモールドは、ロールtoロールインプリント装置で作製することが出来ます。

page top

微細転写装置 アライメント機能

微細転写装置 アライメント機能

基板、モールドそれぞれの異なったアライメントマークを観察することで位置誤差を測定します。基板またはモールドをXYCステージで動かすことでアライメントを行ないます。左右2箇所のアライメントマークを観察することで、θもアライメントすることが出来ます。
また、専用制御ソフトによる自動アライメントも可能です。

page top

微細転写装置 STヘッド

微細転写装置 STヘッド

微細パターンの形成を広範囲(大面積)に行なうには、転写面内でのパターン均一性確保が重要です。STヘッド(下に設置する場合はSTステージ)は、基板とモールドとの平行度誤差によって生じる片あたりを防ぎ、面内均一性に優れた転写を可能にします。基板とモールドパターン面との平行度を確保するために、モールドが装着されるヘッド部が自在に傾く機構を搭載し、基板とモールドとの接触時に自ら傾きを調整します。

page top

微細転写装置 成形ソリューション

微細転写装置 成形ソリューション

成形に使用する樹脂の性質により、3種類の成形方法があります。UV硬化性樹脂を使用するUVインプリント、熱硬化または可塑樹脂を使用する熱インプリント、SOG(spin-on-glass)等高圧力で硬化する樹脂を使用するコールドインプリントです。
ST機は使用する樹脂に合わせて、すべてにカスタムすることが出来ます。

PAGE TOP