新型超精密スライサーを発売

当社は、超精密加工機の新商品として、従来機に比べ低価格の超精密スライサー「USM-4」を開発し、販売を開始いたしました。

豊富な実績を持つ当社の磁気ヘッド用スライサーをベースに、薄膜ヘッド用ウエハーの切断、溝入れ加工を高速かつ高精度に行なう機械で、テーブル送り速度15m/min(従来機の6倍)、設置スペース510×990mmと、小型化、高速化を実現しました。
 対応できるウエハーの最大直径は4インチで、トイシ軸は定評ある当社製の空気静圧スピンドルを使用し、それに低振動モータを直結して、抜群な芯振れ精度により、最高回転数40000rpmを実現しました。また、使用トイシの最小径は50mmで、付属機能として顕微鏡、テレビモニタ等の取り付けが可能となっています。

本機の標準価格は950万円で、年間50台を販売予定です。