微细转写装置 ST 系列
ST50
微细转写装置 ST50 能够精密控制冲压位置和冲压力。它是一种高精密转录器，可压印微米级至纳米级各种精细元件，这些元件在 IT、电子、生物科技、自然科学、环保和能源等行业至关重要。
功能
- 可搭载高分辨率 XY 移动载物台，支持STEP和重复压印。（选配）
- 可配备用于支持在真空中压印的真空室。（选配）
- 可配备调整模具和基板的XYΘ基座和校准镜头。（选配）
- 配备了高性能人机界面。
- 可支持UV转写或热转写。
主要规格
| 项目 | 值 | |
|---|---|---|
| 模具尺寸* | 最长 φ150 mm（UV 转写时） | |
| 冲压轴 | 冲压力设置范围 | 0 至 50 kN |
| 行程设置范围 | 0 至 150 mm | |
| 速度设置范围 | 0.01 至 30 mm/s | |
| 温度控制* | 最大200°C（热转写规格时） | |
| 尺寸（长 × 宽 × 高） | 1.9 m × 1.0 m × 2.3 m | |
| 机器重量 | 2800 kg | |
| 洁净度 | ISO 6 类（FED-STD209 1000 类） | |
| 电源 | 220/200 V AC，60/50 Hz | |
| 气源 | 0.6 MPa，300 NL/min | |
*请咨询
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 校正组件 | 通过搭载XYΘ基座和校准镜头能够进行模具和基板高精度校正。 |
| XY载物台 | 通过高分辨率 XY 移动载物台实现S&R转写 |
| 真空室 | 常规真空度数：1000Pa，载物台可嵌入 |
| 紫外线照射装置 | 用于UV转写成型用 |
| 装载装置 | 用于搬入材料且搬出产品的机械手 |
*1) 如需其他规格，请咨询我们。
*2) 配备真空室时，需要供应清洁空气。