精密机器核心技术

刮削和研磨技术

基准设备和机器的主要零部件（如图所示，是通过加热细化技工娴熟技艺进行刮削和研磨过的超精密覆板和方规）对超精密机器至关重要。

高精度滚针V-V导轨配有严格挑选的高精度滚针，将摩擦力最小化，将轻微的波动控制在 20 nm 以内，将高定位精度与精确运动性能结合在一起。在立式轴中，通过空气静压提供预载。这是实现高速、高精度和高刚性的主要技术，而高速、高精度和高刚性是高精度机器要求的基本功能。

通过将空气静压轴承与高性能电动马达相结合，既实现了高精度和高速性能，又延长了使用寿命。是支持高精度加工和高速加工的主要节能装置。同时，作为主轴装置能够独立出售。

无核线性马达和有核线性马达均为成功制造的产品。借助本公司开发的原创技术，有核线性马达驱动系统能够有效克服干扰因素，实现稳定的高精度和高响应度。

这些技术实现了世界领先的 1nm 光栅尺反馈控制。而且，它将有核线性马达与高增益和高精度驱动技术相结合，实现了稳定的切削和研磨流程及高成形精度和表面精度。

该旋转工作台中装配了刚性高精度滚珠轴承。它能够很好地处理不平衡的负荷，借助空气静压轴承工作台实现了领先一步的高精度。(0.02 μm/S.P.A.M (*))
(*) S.P.A.M. 是通过“单点异步误差运动”执行的一种测量方法。

受空气静压轴承支持的车削和分度工作台，该主轴工作寿命长，可搭配用于超精密加工机床。另外，它可作为附件用于广泛的作业，比如，超精密零部件的加工和测量。

结合空气静压轴承的线性导轨实现了高性能运动。除了低摩擦系数和长使用寿命外，由于无直接接触，不会产生磨屑，因此具有很高的环保性。与其他轴承系统相比，由于刚度和负荷余量较低，因此可在低负荷波动的机器和测量设备中使用。

由于出色的刮削技术和耐用的机器结构，就精度、刚性、移动和稳定性而言，本系统的线性导轨是最佳的导轨。作为超精密机床刀具和测量设备等的导轨，它是支柱性技术的最基本因素。